 | Модуль частотной коммутации с системой дугогашения МКД-1.5 используется для изменения формы напряжения отрицательной полярности подаваемого от источника DC-питания на магнетрон напыления или на подложку с изделиями в установках магнетронного и ионноплазменного «дугового» напыления с возможностью получения двухполярного выходного напряжения. Система дугогашения отслеживает момент возникновения микродугового разряда и изменяет параметры режима частотной модуляции. Модуль МКД-1.5 предназначен для работы в составе системы электропитания вакуумно-технологического оборудования. Осуществляет активное снижение пространственной неравновесности плазмы газового разряда и поверхностных зарядов на подложке и деталях, а также частоты возникновения «микродуг» с подавлением уже возникших, при низкой передаваемой в них паразитной энергией, что предотвращает их перерастание в самостоятельные дуговые, коронные и поверхностные разряды, тем самым обеспечивая качественный и стабильный процесс нанесения покрытий.
|