| Источники питания серии ИПМ имеют несколько модификаций и предназначены для питания магнетронов стандартного исполнения, бипланарных и дуальных магнетронов. В зависимости от модификации ИПМ может иметь выход напряжения постоянного тока, выход с однополярным либо двухполярным импульсным напряжением. В состав ИПМ с импульсным выходом входит модуль частотной модуляции и системы дугогашения. Источники выполнены по схеме высокочастотного резонансного инвертора, что обеспечивает низкий уровень электромагнитных помех и устойчивую работу источника в условиях динамической нагрузки. В качестве силовых ключей используются интеллектуальные IGBT-модули S-серии Mitsubishi Electric и Semikron. Частотная коммутация выходного напряжени и система дугогашения обеспечивает активное снижение неравновестности плазмы газового разряда и поверхностных зарядов на мишени и деталях, что приводит к уменьшению образованию дуговых разрядов. Выходные параметры и функционал источника питания может меняться в зависимости от ТЗ заказчика.
|