 | Источники питания серии ИПП предназначены для питания Плазменного источника с накальным катодом. ИПП является регулируемым источником стабилизированного тока и содержит все электронные блоки необходимые для обеспечения работы источника плазмы: -источник тока накала катода, вспомогательные источники. -источник питания тлеющего разряда; -источник питания электромагнитной катушки (до 5каналов); Источник тока катода выполнен по схеме высокочастотного инвертора с резонансным переключением транзисторов, что обеспечивает высокий коэффициент полезного действия и низкий уровень электромагнитных помех. В качестве силовых ключей используются интеллектуальные IGBT-модули S-серии Mitsubishi Electric.
|