Комплексное решение представляет собой совокупность системы электропитания, системы автоматизации, средств измерения давления, приводов шаговых двигателей с контроллером движения внутрикамерных манипуляторов и программного обеспечения. Управление источниками и вакуумной системой осуществляется от ПК по интерфейсу RS-485, с помощью интерфейса управляющей программы. Комплекс оснащается встроенной либо выносной консолью оператора с сенсорной панелью, что позволяет оператору легко управлять технологическим комплексом и оперативно вносить изменения в технологические режимы.
Поставляемое программное ПО обеспечение разрабатывается по ТЗ заказчика, имеет удобный интерфейс для использования сенсорной панели и высокую степень информативности. ПО позволяет автоматизировать и программировать технологические процессы, чем добивается повторяемость тех. процессов.