Продукция | Технологические энергокомплексы | Комплексные решения
Комплексные решения по оснащению и модернизации технологических установок
Комплексное решение представляет собой совокупность системы электропитания, системы автоматизации, средств измерения давления, приводов шаговых двигателей с контроллером движения внутрикамерных манипуляторов и программного обеспечения. Управление источниками и вакуумной системой осуществляется от ПК по интерфейсу RS-485, с помощью интерфейса управляющей программы. Комплекс оснащается встроенной либо выносной консолью оператора с сенсорной панелью, что позволяет оператору легко управлять технологическим комплексом и оперативно вносить изменения в технологические режимы.
Поставляемое программное ПО обеспечение разрабатывается по ТЗ заказчика, имеет удобный интерфейс для использования сенсорной панели и высокую степень информативности. ПО позволяет автоматизировать и программировать технологические процессы, чем добивается повторяемость тех. процессов.

В состав системы электропитания могут входить, в зависимости от технического задания, все необходимые технологические источники питания:
• Источник питания дугового испарителя серии ИПД-250;
• Источник питания магнетрона серии ИПМ-15;
• Источник питания Плазменного источника с накальным катодом серии ИПП-150;
• Источник питания Плазменного источника с полым катодом серии ИПГ-250;
• Источник питания потенциального смещения с частотной модуляцией ИПС-10;
• Источник питания электронной пушки с эммитерным, либо с накальным катодом серии ИПЭ;
• Источник питания высоковольтный серии ИПВ;
• Контроллер вакуумной системы и исполнительных устройств КВС;
• Контроллер движения серии SD2000;


Информация Сферы применения Особенности Модификации Технические и функциональные
характеристики