 | Комплексное решение представляет собой совокупность системы электропитания, системы автоматизации, средств измерения давления, приводов шаговых двигателей с контроллером движения внутрикамерных манипуляторов и программного обеспечения. Управление источниками и вакуумной системой осуществляется от ПК по интерфейсу RS-485, с помощью интерфейса управляющей программы. Комплекс оснащается встроенной либо выносной консолью оператора с сенсорной панелью, что позволяет оператору легко управлять технологическим комплексом и оперативно вносить изменения в технологические режимы. Поставляемое программное ПО обеспечение разрабатывается по ТЗ заказчика, имеет удобный интерфейс для использования сенсорной панели и высокую степень информативности. ПО позволяет автоматизировать и программировать технологические процессы, чем добивается повторяемость тех. процессов. В состав системы электропитания могут входить, в зависимости от технического задания, все необходимые технологические источники питания: • Источник питания дугового испарителя серии ИПД-250; • Источник питания магнетрона серии ИПМ-15; • Источник питания Плазменного источника с накальным катодом серии ИПП-150; • Источник питания Плазменного источника с полым катодом серии ИПГ-250; • Источник питания потенциального смещения с частотной модуляцией ИПС-10; • Источник питания электронной пушки с эммитерным, либо с накальным катодом серии ИПЭ; • Источник питания высоковольтный серии ИПВ; • Контроллер вакуумной системы и исполнительных устройств КВС; • Контроллер движения серии SD2000;
|